| 參考文獻(xiàn) | |
| 名稱型號 | ·1200℃自動化管式爐（150mm管徑，用于AI材料實驗） GSL-1200XS6-ASD |
| 產(chǎn)品特點 | ·可配合協(xié)助機(jī)器人完成自動放樣，自動關(guān)閉及密封法蘭，通入惰性氣體清洗，自動控制供氣流量，升溫，恒溫，降溫，自動打開法蘭取出樣品，可以進(jìn)行多次循環(huán)操作 ·通過機(jī)器人實現(xiàn)對樣品自動放取，實現(xiàn)工藝的完全自動化， ·購買多臺設(shè)備可以實現(xiàn)高通量樣品燒結(jié)，一臺機(jī)器人對多臺設(shè)備進(jìn)行取放樣。 ·雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。 ·帶有數(shù)顯真空計可做微正壓恒壓控制（103000-120000 Pa），維持爐內(nèi)的壓力， ·高純度氧化鋁纖維絕熱材料更加節(jié)能
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| 加熱爐基本參數(shù) | ·電源電壓要求：AC 208-240V 單相, 50/60 Hz ·功率：6KW ·最高溫度：1200℃（≤30min） ·連續(xù)工作溫度：1100℃ ·加熱區(qū)長度：350mm ·加熱元件：電阻絲（摻鉬鐵鉻鋁合金） ·熱電偶類型：K型 ·推薦升溫速率：≦10℃/min（≤1400℃） ·爐管： 尺寸：φ150*600mm（長） 材質(zhì)：高純石英 （注：剛玉屬于易損易耗，不在質(zhì)保范圍內(nèi)）
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| 溫控系統(tǒng) | · 包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃） · PID自動控溫系統(tǒng) · 智能化50段可編程控制 · 通過UL認(rèn)證 · 控溫精度：±1℃
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| 不銹鋼法蘭密封系統(tǒng) /及接口設(shè)置 | ·一套6英寸全自動密封不銹鋼水冷法蘭，通過電缸進(jìn)行恒壓力密封和自動開啟 ·設(shè)備需搭配水冷機(jī)使用（進(jìn)出水口為φ12mm） ·右端法蘭留有一個G1/4雙卡套出氣口與設(shè)備內(nèi)置出氣系統(tǒng)連接， 一個G1/4鎧裝熱電偶插入口用于檢測管內(nèi)溫度 ·右邊法蘭內(nèi)側(cè)有樣品放置平臺（支撐架尺寸詳見目錄 樣品臺支架） ·左邊留有KF25抽氣口用于連接真空泵，配有數(shù)顯真空計，一個G1/4進(jìn)氣口。 ·設(shè)備帶有真空泵外接三芯插座和真空電磁擋板閥的外接航空插頭（將真空泵接入插座后，真空泵的運行和電磁擋板閥的開合由該系統(tǒng)自動控制）
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| 樣品臺支架 | ·樣品臺支架有兩種： 一種可以放四個坩堝（坩堝材質(zhì)可以根據(jù)客戶需求定制，如石英，氧化鋁，石墨） 一種可以放置25-30片四英寸基片的石英支架如下圖 ·樣品臺支架材質(zhì)是石英的 ·坩堝尺寸外徑40mm高30mm ·樣品臺支架留有機(jī)器人抓取位置 ·樣品臺帶有刻碼處理便于視覺傳感器捕捉
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| PC機(jī)+軟件 | 通過軟件可以進(jìn)行以下操作: ·設(shè)置加熱爐升溫曲線，設(shè)置通入加熱爐內(nèi)氣體流量大小，設(shè)置取放樣循環(huán)次數(shù)。 ·參數(shù)設(shè)置完成后，加熱爐配合機(jī)器手可以完成以下流程 1.機(jī)器人裝樣后，能夠自動關(guān)閉艙門 2.通入流動保護(hù)氣體 3.執(zhí)行程序多段升溫恒溫和降溫步驟（高達(dá)50段） 4.程序完成后，停氣，能夠在500度打開艙門完成換樣， （注：換樣過程中爐子需要盡量恒溫，保持加熱狀態(tài)） 5.換樣完成后，可以繼續(xù)重復(fù)進(jìn)行原有的溫度程序。 （程序開源，配合機(jī)械手和對軟件進(jìn)行嵌入式循環(huán)工藝控制） 6.全流程自動記錄工藝 軟件顯示顯示以下參數(shù)： ·爐管內(nèi)壓力 ·設(shè)備內(nèi)置一路0-1000sccm的質(zhì)量流量控制器 ·清洗周期（0-3次） ·前面板上安裝RJ45通信接口，可連接PC或無線路由器實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制(PC和路由器可另行提供) ·電腦操作軟件，可支持多臺加熱爐 ·向現(xiàn)有客戶開放通信代碼，將設(shè)備與機(jī)器人連接，實現(xiàn)無人操作
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| 自動化協(xié)助機(jī)器人(選配） | ·額定負(fù)載：5KG ·工作半徑：900mm ·最大臂展：1096mm ·額定電壓： DC48V ·本體重量：25KG ·重復(fù)定位精度：±0.02mm ·通訊方式：TCP/IP,Modbus,無線網(wǎng)絡(luò) ·典型功耗：150W
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| 冷水機(jī)（選配） | · 型號：KJ-5000 · 工作電壓：AC 220V 50HZ · 工作電流：1.4-2.1A，制冷量：2361Btu/h · 壓縮機(jī)功率：300W，水箱容量：6L · 最大流量：16L/min，凈重：24 Kg
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| 真空度（選配） | · 配套機(jī)械泵，真空度可以達(dá)到10-2 torr · 配套分子泵，真空度可以達(dá)到10-5 torr
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| 產(chǎn)品尺寸 | ·外形尺寸：1200*860*1000mm（長*寬*高）
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| 重量 | ·約200kg |
| 保質(zhì)期 | ·1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件） |
使用注意事項 | · 剛玉管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa； · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa， 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 設(shè)備需在獨立供電網(wǎng)下工作，電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi)，不可與中頻高頻等高磁場發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng)， 并不可與該類型設(shè)備處于同一房間，如無法做到請對電網(wǎng)進(jìn)行諧波檢測和治理，對設(shè)備進(jìn)行電磁隔離處理 · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體， 請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。 ·設(shè)備請遠(yuǎn)離存在液體飛濺場所 ·設(shè)備請遠(yuǎn)離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末 ·保溫和加熱元件為損耗件，保溫材料在燒結(jié)過程中出現(xiàn)裂紋為正?，F(xiàn)象，可使用修補劑修補，加熱元件為損耗件， 在電爐長時間使用后無法達(dá)到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進(jìn)行更換， ·該設(shè)備高精度溫控范圍為500-1600℃，低溫運行會存在溫度振蕩， ·該設(shè)備不建議在低于1000℃以下工作，這樣會降低加熱元件的壽命 ·不建議500℃以上開啟爐膛 ·請保持氣動供氣源的壓力穩(wěn)定（0.5-0.6mpa） ·剛玉管和內(nèi)置支架等高溫陶瓷部件屬于易損易耗原件，不在質(zhì)保的范圍， |
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