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1500℃六溫區(qū)開啟式管式爐(Φ60剛玉管&不銹鋼水冷密封法蘭)
型號:
OTF-1500X-6Z
產(chǎn)品概述:
OTF-1500X-6Z是一款6溫區(qū)開啟式管式爐,剛玉管和不銹鋼密封法蘭,最高溫度可達1500℃。六個獨立的溫控系統(tǒng),采用S型熱電偶,控溫精度為?+/ - 1°C。此款設(shè)備可非常好地用于高溫CVD和熱處理應(yīng)用。
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爐體結(jié)構(gòu)

? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并且安裝有風(fēng)冷系統(tǒng)

? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高溫度均勻性和延長爐膛使用壽命

? 6個溫區(qū)由6個獨立的溫控儀表控制,最高溫度1500℃,控溫精度可達+/ - 1°C

? 總加熱區(qū)長度為1440mm

? 此設(shè)備可得到較長恒溫區(qū),也可獲得不同的溫度梯度


輸入功率

? 22KW


工作電壓

? AC380V, 三相 50/60Hz(需要100A的空氣開關(guān))


最高工作溫度

? 1500℃(小于30分鐘)


連續(xù)工作溫度

? 1400℃


建議最大升溫速率

? 5℃/min


爐管

? 材料:高純氧化鋁管(剛玉)

? 尺寸: 60 O.D x 51 I.D x 1800mm L 

? 可選購直徑達到

   Φ100mm石英管(最高使用溫度為1200℃)

   Φ100mm高溫合金管(最高使用溫度為1100℃)


加熱區(qū)長度

? 總加熱區(qū)長度:1440mm(包含溫區(qū)之空白區(qū))

? 每個加熱區(qū)長度Z1+Z2+Z3+Z4+Z5+Z6:284.5mm + 177.8mm + 177.8mm + 177.8mm +177.8mm+284.5 mm

? 恒溫區(qū)長度:800mm(+/- 2oC,每個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度)

注意:溫度梯度可通過溫區(qū)之間插入隔熱環(huán)來進行調(diào)節(jié)。


溫控系統(tǒng)

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? 6個溫區(qū),由獨立的PID程序溫控系統(tǒng)控制

? 可設(shè)置50段溫度程序,精確控制加熱速率,降溫速率和保溫時間

? 帶有超溫保護和報警

? 控溫精度:+/- 1 oC

? 6根S型熱電偶(每個溫區(qū)一根)

? 可選:

   (1)通過安裝控制模塊,可由PC機操作高溫爐。請額外訂購一個MTS-02控制模塊。

   (2)如果您訂購PC控制模塊和高溫爐,我們將在裝運前對其進行安裝和測試。我們建議您向我們訂購一臺筆記本電腦,以避免軟件安裝問題

 OTF-1500X-Z6 4.png   OTF-1500X-Z6 5.png  OTF-1500X-Z6 2.png


歐陸控溫系統(tǒng)(可選)

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? 加熱通道

? 程序可設(shè)置8或24段

? 控溫精度:  ±0.1oC

? 菜單:用PC工具菜單功能可被建立,用于選取不同的熱處理工藝。對于用同一款設(shè)備對不同的材料采用不同工藝處理非常方便有用。


電腦,軟件&無線控制(可選)

? Labview 溫控系統(tǒng),使用戶可編輯溫度曲線,管理熱處理配方,記錄和繪制數(shù)據(jù)

 OTF-1500X-Z6 7.png OTF-1500X-Z6 8.png OTF-1500X-Z6 2.png

真空度

? 10^-2 torr (采用機械泵)

? 10^-5 torr (采用分子泵系統(tǒng))

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隔熱管堵放置

? 設(shè)備中配有2個隔熱管堵,可查看圖片了解隔熱管堵放置位置

? 可選購法蘭支撐架,避免爐管轉(zhuǎn)動

 OTF-1500X-Z6 11.png OTF-1500X-Z6 12.png


加熱元件

? 48根1500℃級別SiC棒(尺寸Φ14mm . x 150mm 加熱段?x ?413mm L)

? 加熱元件是消耗品,可在本公司選購6根S型熱偶,安裝在設(shè)備上

 OTF-1500X-Z6 13.png


外形尺寸

? 1950 mm L × 660 mmW × 762 mmH


重量

? 300kg


應(yīng)用注意事項

? 爐管設(shè)計用于真空和低壓< 0.02 Mpa

? 不可將石墨坩堝放入到陶瓷爐管中

? 注意:用戶所用氣瓶上必須安裝雙級減壓閥

 OTF-1500X-Z6 14.png

? 進氣流量小于200SCCM(或200ml/min)


質(zhì)保

? 一年質(zhì)保期,終生維護(消耗品不包含,如爐管,密封圈,加熱元件等)


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