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1700℃三溫區(qū)管式爐(配真空法蘭60,80,100mm)
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三溫區(qū)、溫度梯度
型號(hào):
GSL-1700X-III
產(chǎn)品概述:
GSL-1700X-III是一款CE認(rèn)證的三溫區(qū)高溫管式爐,其爐管外徑為60mm,三個(gè)數(shù)字溫度控制器可獨(dú)立控制溫度,并可設(shè)置50段升降溫程序,溫區(qū)1(加熱區(qū)中心)采用硅鉬棒進(jìn)行加熱,最高溫度可達(dá)到1700℃時(shí),另外兩個(gè)溫區(qū)用硅碳棒進(jìn)行加熱,最高溫度可達(dá)到1400℃時(shí),此款管式爐可以形成一個(gè)溫度梯度,調(diào)整三個(gè)溫區(qū)的溫度,在熱梯度下制備功能材料,他是一款理想的設(shè)備,同時(shí)也適用于CVD法制作薄膜外延生長(zhǎng)。
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產(chǎn)品名稱型號(hào)

三溫區(qū)管式爐 GSL-1700X-III

爐體結(jié)構(gòu)

· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)

· 爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維作為材料,最大程度的減少能量損失

· 內(nèi)爐膛表面涂油美國(guó)進(jìn)口1750度高溫氧化鋁涂層,可以提高反射率及設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命

基本參數(shù)

· 電源:AC 380V  50/60HZ

· 功率:10KW

· 最高加熱溫度:1700℃(中間溫區(qū)),1400℃(兩端溫度)

· 長(zhǎng)期使用溫度:1600℃(中間溫區(qū)),1300℃(兩端溫度)

· 推薦升溫速率:1400℃以≤10℃/min,

1400℃到1600℃≤5℃/min

1600℃以上≤2℃/min

· 加熱元件:硅鉬棒(中間溫區(qū)),硅碳棒(兩端溫區(qū))

· 加熱區(qū)尺寸:550mm160+230+160mm

· 熱電偶:B型(中間溫區(qū)),S型(兩端溫區(qū))

爐管

· 材質(zhì):剛玉管

· 標(biāo)配:φ60mmO.D*1200mmL),可選:φ80mmO.D*1200mmL

· 為了防止熱量以熱輻射的形式損失,加熱前必須將管堵放置在爐管內(nèi)(管堵標(biāo)配)

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真空密封

· 爐管標(biāo)配一套不銹鋼密封法蘭

· 進(jìn)氣端法蘭上安裝了一個(gè)機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)的壓力,壓力表范圍-0.1-0.15MPa;一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用,并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷

· 出氣端法蘭包含一個(gè)φ8mm寶塔氣嘴的出氣口,并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷。當(dāng)需要對(duì)爐管內(nèi)抽真空時(shí),通過真空橡膠管將出氣口與真空泵連接。

· 為了更快的獲得較高的真空度,建議選配使用KF25真空法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計(jì)

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溫控系統(tǒng)

· 包含三個(gè)溫度控制器;

· PID自動(dòng)控溫系統(tǒng);

· 智能化50段可編程控制;

· 控溫精度:±1℃;

· 三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

· 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口;

·通過MET認(rèn)證;

·可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù);

圖片7.png


真空系統(tǒng)(選配)

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· 型號(hào):VRD-8

· 抽氣速率:2.2 L/S

· 電機(jī)功率:370 W

· 極限壓強(qiáng):5×10-1Pa(不帶負(fù)載)

· 實(shí)際壓強(qiáng):≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘)

· 如果想要獲得更高的真空度(10-5toor or better)可選購(gòu)國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組

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設(shè)備外形尺寸

1500mmL*700mmW*750mmH)(長(zhǎng)度包含爐管與法蘭)

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重量

150KG

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

· 特別提示:

1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)


使用注意事項(xiàng)

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓);

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé)。

· 氣體的流量應(yīng)<200SCCM(200ml/min)

· 由于氧化鋁管制作工藝的原因,爐管在燒結(jié)過程中會(huì)存在斷管的風(fēng)險(xiǎn),這是無法完全避免的,請(qǐng)客戶知曉


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