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1200℃雙溫區(qū)4坩堝分體式HPCVD爐（帶進(jìn)樣系統(tǒng)）
- 關(guān)鍵字：
- 雙溫區(qū)、開(kāi)啟式、依次移動(dòng)
- 型號(hào)：
- OTF-1200X-II-ZL
- 產(chǎn)品概述：
- OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內(nèi)部移動(dòng)的（在真空氣氛保護(hù)環(huán)境下移動(dòng)）管式爐，最多可依次移動(dòng)4個(gè)坩堝。特殊的坩堝推送機(jī)構(gòu)，可將坩堝在爐管內(nèi)推出后再拉回，讓坩堝能做往返移動(dòng)。坩堝移動(dòng)位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設(shè)備可進(jìn)行物理化學(xué)混合沉積（HPCVD），快速熱蒸發(fā)（RTE）等實(shí)驗(yàn)，適合制備多層二維晶體材料。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 開(kāi)啟式管式爐
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雙溫區(qū)管式爐：兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū) 加熱區(qū)長(zhǎng)度：溫區(qū)1:200mm, 溫區(qū)2:200mm 爐管材料：高純石英 爐管尺寸：外徑: 60 ×內(nèi)徑: 54×長(zhǎng): 760 mm 溫度曲線圖(兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置在800℃時(shí)所測(cè)，僅供參考）（可點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）） 
最高工作溫度：1200℃（<1hr) 連續(xù)工作溫度：1100℃ 控溫精度：+/-1℃  
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| 真空密封
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配有不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表 進(jìn)氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭，出氣端法蘭接口為KF25接口 法蘭密封圈采用水冷卻，使用時(shí)需要通入冷卻水，可在本公司選購(gòu)循環(huán)水冷機(jī) 真空度：10E-2 torr（采用機(jī)械泵），10-E5 torr(采用分子泵)   
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| 坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)（轉(zhuǎn)輪式法蘭）
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一根鎧裝熱電偶通過(guò)左端法蘭通入到爐管內(nèi)部，并與坩堝相連接(圖1) 通過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)使坩堝移動(dòng)，并和熱電偶和坩堝一起移動(dòng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品的溫度 進(jìn)氣端法蘭轉(zhuǎn)輪式法蘭（圖2） 可同時(shí)在轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)中放入4個(gè)坩堝，可交替將放入4種材料的石英坩堝自動(dòng)送入到石英管中（可在真空狀態(tài)或氣氛保護(hù)狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)作）
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| 坩堝移動(dòng)控制
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| 防腐型數(shù)顯真空計(jì)
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配有一數(shù)顯防腐型真空計(jì) 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的精確度和重復(fù)性 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇型繉?，所以具有較好的抗腐蝕性 測(cè)量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr
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| 混氣系統(tǒng)
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| 產(chǎn)品尺寸
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2400L×600W×1300mm H
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| 質(zhì)保
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一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，密封圈和加熱元件） |
| 質(zhì)量認(rèn)證
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| 使用注意事項(xiàng)
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爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）
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| 應(yīng)用注意事項(xiàng)
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| 免責(zé)聲明
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| 國(guó)家專利
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專利名稱：多樣品單通道自動(dòng)切換進(jìn)樣系統(tǒng)及其進(jìn)樣方法
專利號(hào)：ZL 2016 1 0396132.X
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