| 基本參數(shù) | ·小型開啟式立式管式爐 ·工作電壓：208~240VAC ·最大功率6KW ·加熱區(qū)長度200mm ·額定溫度：1600℃ ·一個程序溫控器，獨立控制1個溫區(qū)，控溫精度可達+/-0.1℃ ·用戶在使用過程中需要自己找到合適的溫度梯度 ·調(diào)節(jié)爐體打開的直徑也可改變溫度梯度 ·設備中包含剛玉管和不銹鋼密封法蘭
|
| 爐體移動機構 | ·采用伺服電機來驅(qū)動爐體上下移動 ·伺服電機+高精度直線模組保證爐體在移動過程中不卡頓 ·爐體移動有慢速提拉和快速移動兩種模式 ·最大移動行程：200mm ·移動速度范圍：0.03mm/hr--30mm/hr(可調(diào)，精度+/-1um) ·可根據(jù)客戶要求來定制爐體移動速度范圍 |
| 密封法蘭 | ·一對不銹鋼密封法蘭，用于密封石英管 ·頂部法蘭安裝有壓力傳感器和Φ6.35mm出氣口 ·底部法蘭有KF25真空接口和Φ6.35mm的進氣口 ·底部法蘭采用步進電機驅(qū)動升降，用于裝入和取出坩堝 ·設備中配有一直徑25mm×70mmH的石墨坩堝 ·坩堝臺安裝在底部法蘭上 ·真空度：10-2torr(采用機械泵），10-5torr（采用分子泵系統(tǒng)） |
| 控制面板 | ·觸摸屏控制面板可控制爐體移動速度，移動行程和爐體溫度和顯示坩堝的溫度，也可控制爐管內(nèi)部氣壓 ·配合加熱爐升溫曲線設置預提拉時間，例如設置5個小時后開始提拉 ·溫度曲線功能，時時顯示兩條控溫曲線和坩堝底部溫度曲線，溫度曲線數(shù)據(jù)可以保存記錄和導出 ·1個歐陸儀表（Eurothermo）控制一個溫區(qū)，控溫精度+/-0.1℃ ·包含兩根B型熱電偶 一根熱電偶分用于控溫 一根熱電偶用于檢測坩堝底部的溫度 ·坩堝臺與底部法蘭相互連接 ·一個數(shù)顯壓力傳感器和電磁閥安裝在密封法蘭上，用于控制爐管內(nèi)氣壓恒定，控制范圍：0.01MPa-0.02MPa
|
| 可選（需額外購買） | ·真空度：10-2torr（采用機械泵） 10-5torr(采用分子泵系統(tǒng)） ·可在本公司選購各種真空泵 ·對于一些特別氧敏感材料，可再用本公司的凈化系統(tǒng)（H2O，O2＜1ppm）
分子泵系統(tǒng) 機械泵 凈化系統(tǒng) |
| 設備尺寸 |
|
| 質(zhì)保 | ·一年質(zhì)保期，終生維護（不包含損耗件，如加熱元件，爐管和密封圈等） |
| 設備凈重約 | ·200kg |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術有限公司 版權所有 皖ICP備09007391號-1 
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
查看誠信檔案
