| 名稱型號(hào) | ·2100℃上稱重CZ晶體生長(zhǎng)爐 SKJ-50CZ |
| 特點(diǎn) | ·采用高精度上稱重模式CZ晶體生長(zhǎng) ·配有中頻/高頻電源，可以真空感應(yīng)熔煉和磁懸浮真空熔煉爐兩用， ·真空度最高5.0*10-3pa ·配有自動(dòng)控制和預(yù)設(shè)工藝的軟件系統(tǒng)
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| 基本參數(shù) | ·電源電壓：三相 AC380 50/60Hz ·總功率：80KW ·最高熔煉溫度:2100℃ ·中頻電源功率：35KVA,電源頻率：1-20KHZ, 輸出電流：10-70A 輸出電壓：70-550V ·高頻電源功率：30KVA,電源頻率：20-200KHZ,輸出電流：7-70A
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| 真空腔體 | ·采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體，確保設(shè)備工作室表面溫度≤70℃ ·腔體尺寸:Ф500*700mmH ·腔門上有一個(gè)80*300mm的方形觀察窗口，方便晶體生長(zhǎng)過程中實(shí)時(shí)觀察樣品的熔化和生長(zhǎng)情況 ·腔體上部安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.5MPa的機(jī)械壓力表用于觀察腔室內(nèi)壓力情況 ·預(yù)留G1/4進(jìn)氣口，并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷 ·預(yù)留G1/4出氣口，并通過一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷 ·安裝了一個(gè)安全泄壓閥，當(dāng)腔室中壓力大于一定值時(shí)將自動(dòng)泄壓，確保腔體的安全 ·裝有攝像頭，用于攝錄晶體生長(zhǎng)過程 ·裝有紅外測(cè)溫儀，用于測(cè)量坩堝內(nèi)物料溫度 |
| 提拉機(jī)構(gòu) | ·采用伺服電機(jī)+諧波減速器來提拉籽晶桿 ·采用高精度直線模組可以防止晶體生長(zhǎng)提拉過程中卡頓 ·體移動(dòng)有慢速提拉和快速移動(dòng)兩種模式 ·提拉行程：200mm ·提拉速度：0.03mm/hr--30mm/hr(可調(diào)，精度+/-1um) ·籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度：1-60 rpm ·可根據(jù)客戶要求來定制爐體移動(dòng)速度范圍
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| 上稱重系統(tǒng) | ·設(shè)備標(biāo)配一套上稱重系統(tǒng)，可以精確的控制晶體生長(zhǎng)過程中的工藝參數(shù)。 ·秤量程：5KG ·稱精度：0.1g
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| 控制系統(tǒng) | ·整個(gè)電路控制系統(tǒng)在工控機(jī)上面實(shí)現(xiàn)操作控制,采用國(guó)際通用的 labview 軟件進(jìn)行控制，可以實(shí)現(xiàn)以下功能： ·生長(zhǎng)斜率及控制參數(shù)設(shè)定； ·控制晶升，動(dòng)態(tài)可調(diào) ·控制晶轉(zhuǎn)，可設(shè)定多段速自動(dòng)執(zhí)行 ·檢測(cè)晶體實(shí)時(shí)重量并反饋至歐陸表組成閉環(huán)控制 ·腔體真空和壓力檢測(cè) ·報(bào)警監(jiān)測(cè)，晶升晶轉(zhuǎn)中頻氣壓及稱量程等上限報(bào)警 ·實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)曲線，晶體生長(zhǎng)圖例模擬 ·數(shù)據(jù)記錄，自動(dòng)存儲(chǔ)運(yùn)行數(shù)據(jù)
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| 坩堝系統(tǒng) | ·坩堝組件可以選配：銥坩堝，鎢坩堝,BN坩堝，剛玉坩堝，Ta坩堝，石墨等 ·坩堝尺寸：外徑100mm,壁厚3mm,高80mm,坩堝外部采用石英砂作為保溫材料，最外層通過一個(gè)石英管進(jìn)行固定。（注：坩堝尺寸可以依據(jù)要求定制） ·此單晶爐常規(guī)可生長(zhǎng)晶體尺寸為≤Ф2”*高度100mm （如需要大尺寸單晶生長(zhǎng)，可聯(lián)系我司銷售） ·注：晶體生長(zhǎng)尺寸不僅和提拉行程有關(guān)系，還和溫度、坩堝大小、保溫組件，線圈大小等因素相關(guān)，
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| UPS電源 | ·系統(tǒng)配置一套 UPS 電源，用于緊急斷電情況下，對(duì)整個(gè)控制系統(tǒng)進(jìn)行不間斷供電 ? 額定功率：5 KVA ? 輸入電源電壓：AC 220V ? 輸入頻率：40-70HZ ? 輸出電壓：AC 220V ? 輸出頻率：50/60 HZ ? 功率因數(shù)：99.9%（滿載）
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| 紅外測(cè)溫系統(tǒng) | ·測(cè)溫范圍：100℃—3000℃ ·測(cè)溫精度：±1% FS ·重復(fù)精度：±0.5% FS ·距離系數(shù): 400:1 ·響應(yīng)時(shí)間(95%)： ≤50 ms ·發(fā)射率：0.10~1.00 可調(diào) 步長(zhǎng)：0.01 ·模擬輸出：4---20mA ·工作電壓：24VDC ± 20% ·目視瞄準(zhǔn)，可見光斑指示 |
| 水冷系統(tǒng) | ·系統(tǒng)配置兩套水冷設(shè)備，一套給感應(yīng)電源和腔體水冷，一套給磁懸浮熔煉坩堝水冷。 ·感應(yīng)電源和腔體水冷設(shè)備技術(shù)參數(shù)： ·工作電流：8.4-34.6A ·制冷量：49474Btu/h ·最大流量：117L/min ·水箱容量：75L 磁懸浮熔煉坩堝水冷設(shè)備技術(shù)參數(shù)： ·工作電流：2.3-13A ·制冷量：17510Btu/h ·水箱容量：15L ·出入水口： 4 分內(nèi)牙接口 ·最大流量:70L/min
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| 真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵參數(shù) ·型號(hào)：VRD-48 ·抽氣口接口尺寸：KF40 ·抽氣速率：（48m3/h）13.3L/S ·電機(jī)功率：1500 W ·極限壓強(qiáng)4*10-2 Pa 分子泵參數(shù) ·抽氣速率：700L/s ·極限壓強(qiáng)：6×10-6 Pa ·氣動(dòng)時(shí)間≤9min ·額定轉(zhuǎn)速：3600rpm/min 冷卻方式 ·抽氣口接口尺寸：CF160 |
| 產(chǎn)品尺寸和重量 | ·爐體尺寸長(zhǎng)寬高：1250*1150*2700mm ·電氣柜尺寸長(zhǎng)寬高：565*800*1740mm ·中頻電源控制柜尺寸：700*400*835mm ·高頻電源+中頻電源本體尺寸長(zhǎng)寬高：1320*820835mm ·UPS電源尺寸長(zhǎng)寬高：780*450*600 ·重量：1.5噸
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| 認(rèn)證 | ·通過CE認(rèn)證 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
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| 質(zhì)保 | ·質(zhì)保一年，終生維護(hù)（不包括，爐膛和加熱元件） |
| 操作展示視頻 |
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