產品特點 | 手套箱前窗門設計為開啟式,便于放入設備 帶有一下沉式儲藏箱(Φ315mm×440mm),可放入儀器(如旋涂儀),而不占用手套箱主倉空間 有循環(huán)凈化系統(tǒng),可是手套箱內H2O & O2<0.1ppm 可選配過度藏加熱,最高溫度可達200℃ |
電源要求 | 110VAC 或 220VAC, 50/60Hz, 單相 功率:5.5KW |
手套箱腔體 | 腔體材料:304不銹鋼,厚度3mm 前窗開啟式設計,材料為透明鋼化安全玻璃,厚度8mm 腔體為2接,每節(jié)腔體尺寸為1220mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H),總尺寸為 2440mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H) 每節(jié)手套箱腔體頂部都安裝有滑動物料板:300mmL×250mmW×300mmH 接口:每節(jié)箱體后側有4個KF40接口,共8個KF40接口 凈化系統(tǒng)確保手套箱內O2和H2O含量小于0.1PPM 自動凈化和再生功能可快速移出水和氧 手套箱腔體底部安裝有下沉式儲藏箱,可放入儀器(如旋涂儀),而不占用手套箱主倉空間 尺寸:Φ314mm(內徑)×455mm(其他尺寸可定制),可放入本公司旋涂儀 下沉式儲藏箱背面有1組KF40接口,可對接饋通,用于儀器主機與手套箱外的控制柜、真空泵和電源對接,不破壞手套箱內部環(huán)境 下沉式儲存箱頂蓋上有一隱形把手,便于用戶在手套箱內打開頂蓋 |
旋轉涂層機 | · 旋涂涂層殼體和旋轉盤采用聚丙烯(PP)制作,具有防腐蝕性。旋轉涂層機可放入到手套箱的下沉式儲存箱中 · 控制盒和無油真空泵與旋轉涂層機主機分開,可放在手套箱外,通過饋通與主機連接,便于操作 · 設備中標配一過濾器,安裝與真空泵與主機之間,用于組織廢液進入到真空泵里 · 腔體直徑: 150 mm. · 真空吸盤: Φ100mm,最大可裝載直徑為6英寸樣品 (如圖1) · 如果樣品直徑 < 10 mm,可選購橡膠吸盤 ( 如圖2) · 可用藍帶來固定不規(guī)則樣品(如圖3) · 轉速: 500 - 8000 RPM(可程序設置6段轉速,控制器位于手套箱外便于操作) |
產品升級(可選) | · 上蓋加熱,最高溫度可加熱到120℃,可式樣品旋涂后進行干燥(如圖1&2) · 可選購精密單通道注液器,量程;20-200ul(如圖3) · 可用等離子清洗機,在涂覆前對基片進行等離子清洗,提高涂膜質量 |
手套箱過度倉加熱(可選) | 可加熱型過度倉:最高溫度200℃,尺寸Φ385×588mm(L) 可選:手套箱兩側都有過度倉 |
產品尺寸 | 33115mm(L)×830mm(W)×1830mm(H) |
運輸重量 | 約950kg |
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