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旋轉涂層機與雙連體循環(huán)手套箱(H2O & O2< 0.1ppm,下沉式儲藏箱)
型號:
VGB-6-II-SC
產品概述:
VGB-6-II-SC是一款雙連體手套箱,箱體底部帶有下沉式儲藏箱,可放入旋轉涂覆機或小型立式設備。手套箱配有循環(huán)凈化系統(tǒng),可使手套箱內部H2O&O2≤0.1PPM。此設備設計用于制備新材料,特別適合于在無水無氧環(huán)境下制作鈣鈦礦太陽能電池。
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產品特點

手套箱前窗門設計為開啟式,便于放入設備

帶有一下沉式儲藏箱(Φ315mm×440mm),可放入儀器(如旋涂儀),而不占用手套箱主倉空間

有循環(huán)凈化系統(tǒng),可是手套箱內H2O & O2<0.1ppm

可選配過度藏加熱,最高溫度可達200℃


電源要求

110VAC  220VAC, 50/60Hz, 單相

功率:5.5KW


手套箱腔體

腔體材料:304不銹鋼,厚度3mm

前窗開啟式設計,材料為透明鋼化安全玻璃,厚度8mm

腔體為2接,每節(jié)腔體尺寸為1220mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H),總尺寸為

2440mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H)

每節(jié)手套箱腔體頂部都安裝有滑動物料板:300mmL×250mmW×300mmH

接口:每節(jié)箱體后側有4個KF40接口,共8個KF40接口

凈化系統(tǒng)確保手套箱內O2和H2O含量小于0.1PPM

自動凈化和再生功能可快速移出水和氧

手套箱腔體底部安裝有下沉式儲藏箱,可放入儀器(如旋涂儀),而不占用手套箱主倉空間

尺寸:Φ314mm(內徑)×455mm(其他尺寸可定制),可放入本公司旋涂儀

下沉式儲藏箱背面有1組KF40接口,可對接饋通,用于儀器主機與手套箱外的控制柜、真空泵和電源對接,不破壞手套箱內部環(huán)境

下沉式儲存箱頂蓋上有一隱形把手,便于用戶在手套箱內打開頂蓋

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旋轉涂層機

· 旋涂涂層殼體和旋轉盤采用聚丙烯(PP)制作,具有防腐蝕性。旋轉涂層機可放入到手套箱的下沉式儲存箱中

· 控制盒和無油真空泵與旋轉涂層機主機分開,可放在手套箱外,通過饋通與主機連接,便于操作

· 設備中標配一過濾器,安裝與真空泵與主機之間,用于組織廢液進入到真空泵里

· 腔體直徑:  150 mm.

· 真空吸盤:  Φ100mm,最大可裝載直徑為6英寸樣品  (如圖1)

· 如果樣品直徑 < 10 mm,可選購橡膠吸盤  ( 如圖2)

· 可用藍帶來固定不規(guī)則樣品(如圖3)

· 轉速:   500 - 8000 RPM(可程序設置6段轉速,控制器位于手套箱外便于操作) 

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產品升級(可選)

· 上蓋加熱,最高溫度可加熱到120℃,可式樣品旋涂后進行干燥(如圖1&2)

· 可選購精密單通道注液器,量程;20-200ul(如圖3)

· 可用等離子清洗機,在涂覆前對基片進行等離子清洗,提高涂膜質量

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手套箱過度倉加熱(可選)

可加熱型過度倉:最高溫度200℃,尺寸Φ385×588mm(L)

可選:手套箱兩側都有過度倉

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產品尺寸

33115mm(L)×830mm(W)×1830mm(H)

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運輸重量

950kg


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