設(shè)備名稱型號(hào) | 桌面式超快速熱壓爐(2900℃,200K/s,10Kg) RTP-M1 |
產(chǎn)品特點(diǎn) | · 6" 石英管通過(guò)上下密封法蘭實(shí)現(xiàn)真空密封,真空度可達(dá) 1.5x10-2 torr(機(jī)械泵),5x10-5torr(分子泵); · 加熱元件:鎢箔或石墨片作為加熱元件,最高溫度可達(dá)到 2900℃; · 兩個(gè)加熱元件之間的間隙可根據(jù)不同的樣品厚度進(jìn)行調(diào)整; · 上部配置的波紋管可應(yīng)用于調(diào)節(jié)熱壓樣品壓力 · 采用高精度紅外測(cè)溫儀測(cè)量溫度 |
基本參數(shù) | · 電源:AC 220V 50/60HZ · 功率:19 KW · 最大輸出電壓和電流:20V,950A(AC) · 最大輸入電流:85A · 最高加熱溫度:石墨片2900℃(≤30s) · 加熱元件:W(其他加熱元件可選) · 最快加熱速率:≤200℃/s · 最大壓力:100KG (可選配帶數(shù)顯壓力調(diào)節(jié)功能,壓力調(diào)節(jié)范圍0-100公斤) · 樣品尺寸:≤直徑φ50.8mm*厚度2.0mm |
真空腔室 | · 材質(zhì):高純石英 · 尺寸:外徑φ216*內(nèi)徑φ206*L300mm · 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體 · 腔體上下兩端安裝了一對(duì)不銹鋼密封法蘭,上下法蘭之間利用膠木輥支撐。 · 一個(gè)不銹鋼法蘭蓋安裝在上法蘭上。KF40的接口上安裝了一根可伸縮波紋管,波紋管頂部安裝的連接板用于調(diào)節(jié)壓力 · 紅外測(cè)溫儀通過(guò)法蘭蓋上一個(gè)φ35mm觀察窗探測(cè)樣品的溫度 · 兩個(gè)φ6.35的卡套接頭,一個(gè)用于通入惰性氣體,一個(gè)用于排氣。進(jìn)氣口通過(guò)設(shè)備左側(cè)的精密調(diào)節(jié)閥控制進(jìn)氣流量,排氣口通過(guò)不銹鋼針閥控制通斷; · 兩根M18的陶封電極安裝在底部法蘭上,石墨片安裝在電極支撐柱上,樣品放置在兩塊石墨片之間。石墨片上下兩端的壓緊塊通過(guò)上下擠壓的方式對(duì)樣品施加壓力。 |
溫控系統(tǒng) | · 使用紅外測(cè)溫儀檢測(cè)溫度,紅外測(cè)溫儀溫度測(cè)量范圍:1000-3000℃ 測(cè)量精度:±0.5% FS,重復(fù)精度:±0.3% FS或 ±1℃ · 控溫方式:手動(dòng)控溫和程序控溫(通過(guò)“手動(dòng)/自動(dòng)切換開(kāi)關(guān)”切換) · 手動(dòng)控溫:通過(guò)左側(cè)面板上的電流調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)電流值,從而調(diào)節(jié)溫度 · 程序控溫:安裝了一個(gè)數(shù)顯溫度控制器,可設(shè)置50段升降溫程序,控溫精度為±1℃ · 溫度控制儀表的時(shí)間設(shè)置以秒為單位 |
進(jìn)、出氣 | · 設(shè)備左側(cè)的KF25接口為抽氣口,抽氣口上安裝了一個(gè)KF25-KF16-KF25mm三通。三通上的KF16接口安裝了一個(gè)皮拉尼真空計(jì),用于觀察腔室內(nèi)的壓力。 三通上的KF25接口用于連接波紋管與真空泵。真空泵上可安裝手動(dòng)擋板閥。 · 設(shè)備右側(cè)面有一個(gè)精密微量調(diào)節(jié)閥,用于調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。有一個(gè)手動(dòng)調(diào)節(jié)旋鈕,調(diào)節(jié)加熱電流。有個(gè)手動(dòng)/自動(dòng)切換開(kāi)關(guān),切換手動(dòng)控溫和程序控溫 |
皮拉尼真空計(jì) | · 測(cè)量范圍:1*10-4 mbar—1000 mbar(1*10-4—750 torr) · 準(zhǔn)確度:1000mbar—20 mbar(讀數(shù)的30%) 20—0.002mbar (讀數(shù)的2%) · 重復(fù)性:20—0.002mbar (讀數(shù)的2%) · 使用濕度:30℃環(huán)境下≤80% 40℃環(huán)境下≤50%無(wú)冷凝氣體; · 使用溫度:5℃—60℃ |
真空系統(tǒng)(選配) | · 型號(hào):VRD-24 · 抽氣速率:6.6 L/S · 電機(jī)功率:1100 W · 極限壓強(qiáng):4×10-1Pa(不帶負(fù)載) · 實(shí)際壓強(qiáng):≤2 Pa(帶上密封法蘭,冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘) · 如果想要獲得更高的真空度(10-5toor or better)可選購(gòu)國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組 |
設(shè)備外形尺寸 | 700mm(L)*600mm(W)*1850mm(H) |
凈重 | 約60KG |
質(zhì)保 | 一年保修,終身技術(shù)支持 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內(nèi)。 |
使用注意事項(xiàng) | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓); · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥 為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓 閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全; · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉 氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立 刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易 爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體 而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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