設(shè)備名稱與型號 | 三靶等離子濺射鍍膜儀 VTC-16-3HD |
主要參數(shù) | · 輸入電源: AC 220V 50/60HZ · 濺射電流:0-40mA可調(diào) · 功率:<1KW · 輸出電壓:最大1680V DC |
濺射腔體 | · 材質(zhì):采用石英材質(zhì)作為腔體 · 尺寸:OD166mm*ID150mm*150mm · 密封:采用O型圈密封 · 法蘭蓋上安裝了一個可手動操作的擋板,用于靶材的預(yù)濺射。一個φ6.35的卡套接頭為進氣口,用于連接進氣管。一個手動放氣閥用于往石英腔體內(nèi)部充入空氣。 ·一個不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個石英腔體,以屏蔽等離子體。 · 通過調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的微量精密調(diào)節(jié)閥控制進入石英腔體內(nèi)部工作氣體的流量,從而達(dá)到調(diào)節(jié)腔體內(nèi)部的真空度 · 通過調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的電位器,實現(xiàn)對濺射電流大小的控制。 |
靶材 | · 標(biāo)配三塊銅靶材 · 靶材尺寸要求:φ47*(0.1-3)mm厚度 · 可在我公司選購其他金屬靶材,詳細(xì)請咨詢銷售部門 · 安裝有一可手動操作的擋板,用于靶材的預(yù)濺射。 |
樣品臺 | · 一個φ50mm的可旋轉(zhuǎn)的樣品臺,樣品臺支撐柱上有固定螺絲,擰松螺絲即可調(diào)整樣品臺的高度; · 樣品臺旋轉(zhuǎn)角度:0/120/240度; · 靶材和樣品臺之間的距離為20-70mm可調(diào); |
控制面板 | · 4″PLC集成觸摸屏控制面板,可控制真空、電流、樣品濺射時間 · 數(shù)據(jù)記錄功能可以記錄每次濺射的真空度、電流和濺射時間等工藝參數(shù),方便客戶進行查詢 |
真空系統(tǒng)(選配) | · 型號:VRD-8 · 抽氣速率:2.2 L/S · 電機功率:370 W · 極限壓強:5×10-1Pa(不帶負(fù)載) · 實際壓強:≤5 Pa(冷態(tài)下機械泵抽20分鐘) · 如果想要獲得更高的真空度(10-5toor or better)可選購國產(chǎn)或進口高真空機組 |
質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證 | · 一年質(zhì)保期,終生維護 · CE認(rèn)證 |
外形尺寸 | 460*400*500mm(長*寬*高) |
重量 | 約20KG |
使用提示 | · 為了達(dá)到理想的薄膜厚度,需要多次濺射鍍膜 · 在濺射鍍膜前,確保濺射頭、靶材、樣品和樣品臺的潔凈 · 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,請在濺射前清潔基材表面,可選購本公司的清洗設(shè)備進行清潔 · 此款設(shè)備可放入手套箱中濺射(Ar或N2氣氛環(huán)境) |
注意事項 | · 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓); · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全; · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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