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等離子磁控鍍膜儀
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單靶、旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、非導(dǎo)電薄膜
型號(hào):
VTC-1RF
產(chǎn)品概述:
VTC-1RF小型臺(tái)式單靶等離子濺射儀,配有一個(gè)1英寸的磁控等離子濺射頭和射頻等離子電源。一個(gè)可加熱的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái),長期使用溫度為500℃,樣品臺(tái)與靶材之間的高度可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要用于制作非導(dǎo)電薄膜,特別是一些氧化物薄膜。對于新型非導(dǎo)電薄膜的探索,它是一款性價(jià)比高并且高效的實(shí)驗(yàn)幫手。如果客戶需要制作金屬薄膜,我們也可以配置高壓直流電源,適合客戶制作一些金屬薄膜。
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名稱型號(hào)

等離子磁控鍍膜儀  VTC-1RF

基本參數(shù)

· 電源:AC 220V 50/60HZ

· 功率:<1800W

射頻電源

· 輸入電源:220V 3A

· 輸出功率:0-300W

· 輸出頻率:13.56 MHZ

· 冷卻方式:設(shè)備內(nèi)部的冷卻方式為風(fēng)冷

· 尺寸:444(長)*410(寬)*128(高)  

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磁控濺射頭

· 1英寸磁控濺射頭(帶有水冷夾層),采用快速接頭與真空腔體相連接

· 靶材尺寸要求:φ25.4*(0.1-3)mm厚

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· 1英寸磁控濺射頭可承受最大射頻功率:100W

·1英寸磁控濺射頭可承受最大直流功率:250W

濺射腔室

·腔室尺寸:外徑φ166*內(nèi)徑φ150*高250mm,采用高純石英制作

· 密封法蘭:直徑為174mm 采用金屬鋁制作,采用氟膠密封圈密封

· 法蘭蓋上安裝了一個(gè)可手動(dòng)操作的擋板,用于靶材的預(yù)濺射,法蘭蓋上包含一個(gè)φ6.35的卡套接頭用于連接進(jìn)氣管。

· 一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個(gè)石英腔體,以屏蔽等離子體

· 腔室真空度:<1.0×10-2 Torr (采用雙極旋片真空泵),<5×10-5 torr (采渦旋分子泵)

· 如果需要更高真空度,可以定做不銹鋼真空腔室(真空度可以達(dá)到5*10-6torr以下)

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· 腔體進(jìn)氣口為Φ6.35mm的不銹鋼雙卡套接頭,通過聚四氟管可與氣瓶連接,并通過一個(gè)精密微量調(diào)節(jié)閥控制進(jìn)氣量的大小

樣品臺(tái)

· 樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)(為了制膜更加均勻)并可加熱

· 樣品臺(tái)尺寸:直徑50mm (最大可放置2英寸的基片)

· 旋轉(zhuǎn)速度:1- 10 rpm(可調(diào)速)

· 樣品臺(tái)的最高加熱溫度為700℃(短期使用,恒溫不超過1小時(shí)),長期使用溫度500℃

· 控溫精度:±10℃

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真空顯示單元

· 真空計(jì)型號(hào)ZDZ-52T

· 測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

· 有效范圍:3.0×103Pa~1.0×100Pa

· 配接硅管:ZJ-52T/KF16

· 面板尺寸:96*96 mm

· 真空計(jì)配套的規(guī)管只能測量空氣和氮?dú)?,有其他氣體成分比例較大的場合需另外修正

真空系統(tǒng)(選配)

· 抽真空接口為KF25接口

· 真空泵型號(hào):VRD-16

· 抽氣速率:4.4 L/S

· 電機(jī)功率:750 W

· 極限壓強(qiáng):5×10-1Pa(不帶負(fù)載)

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水冷設(shè)備(選配)

· 型號(hào):KJ-5000

· 工作電流:1.4-2.1A

· 制冷量:2361Btu/h

· 尺寸:55×28×43cm(長×寬×高)

· 水箱容量:6L

· 水流速率:16L/min


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薄膜測厚儀(可選) ?

· 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測厚儀安裝在儀器上,可實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜的厚度,分辨率為0.10 ?  

· LED顯示屏顯示,同時(shí)也可輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

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外形尺寸

設(shè)備尺寸:長550mm×寬550m×高1100mm

爐架尺寸:長600mm×寬600m×高600mm

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重量

55KG

保質(zhì)期

1年(不包密封圈等損耗件)


 




注意事項(xiàng)

· 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé)。


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