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全自動雙爐滑動CVD系統(tǒng)（1200℃Max）
關(guān)鍵字：
全自動控制、工藝預(yù)設(shè)
型號：
OTF-1200X-S2-50SL-CVD
產(chǎn)品概述：
OTF-1200X-S2-50SL-CVD是一款全自動控制的CVD系統(tǒng)，可存儲預(yù)制實驗參數(shù)自動生成工藝流程，預(yù)設(shè)工藝流程，存儲預(yù)制流程，調(diào)用工藝流程，系統(tǒng)自動執(zhí)行工藝流程，并記錄工藝流程。該系統(tǒng)由三個模塊組成，雙爐體滑動加熱系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，四通道氣體質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，獨立開發(fā)的邏輯軟件對以上三套系統(tǒng)進行工藝預(yù)設(shè)編程性控制。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱型號

全自動雙爐滑動CVD系統(tǒng)（1200℃ Max） OTF-1200X-S2-50SL-CV
產(chǎn)品特點

·采用雙爐體滑動結(jié)構(gòu)。

·采用觸控一體機控制三個模塊系統(tǒng)。

·可存儲實驗參數(shù)生成工藝曲線，可調(diào)取工藝曲線一鍵運行設(shè)備。

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。

·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維，最大程度的減少能量損失。 

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加熱爐系統(tǒng)

·電壓：單相 AC220V 50/60Hz

·最高溫度: 1200℃ (<30min)

·額定溫度: 1100℃

·推薦升溫速率：≤10℃/min

·加熱區(qū)長度200mm

·兩臺加熱爐最大功率：2.4KW

·高純石英管Ф50*1500mm

·設(shè)備總功率4KW

·加熱爐是手動滑動，可以選配電動（一臺爐子固定，一臺爐子滑動）

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溫控系統(tǒng)

· 包含一款518系列型溫度控制器

· PID自動控溫系統(tǒng)

· 智能化30段可編程控制

· 默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口

· 控溫精度：±1℃

 所有的電氣元件都通過UL或MET認(rèn)可，并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測試

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不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)

· 一套Ф50不銹鋼密封法蘭

· 法蘭和石英管采用，O型圈+壓環(huán)+O型圈，螺紋壓緊密封

· 左側(cè)法蘭裝有機械壓力表、針閥、G1/4進氣口、機械泄壓閥（壓力超過0.02MPa自動泄壓）

· 右法蘭裝有壓力傳感器、電磁泄壓閥，KF25抽氣口

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供氣系統(tǒng)

·四通道質(zhì)子流量控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量精確控制（±0.02%）

·流量范圍: 一路0-100SCCM

      二路0-200SCCM

        三路0-200SCCM

      四路0-500SCCM

·氣體進出口配件：6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管；

·電磁閥控制氣體進出

·可以通過觸控一體機進行流量設(shè)置
真空系統(tǒng)

· 配套機械泵，真空度可以達(dá)到10-2 ttor

· 配套分子泵，真空度可以達(dá)到10-5 ttor（選配）

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軟件控制系統(tǒng)

1.通過觸控一體機可以手動和自動控制加熱爐系統(tǒng)，供氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng)

2.預(yù)設(shè)工藝自動控制流程步驟如下圖

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3.加熱爐溫度，管內(nèi)真空，進氣流量，這些數(shù)據(jù)可以實時記錄。如下圖


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4.軟件有工藝曲線自動生成功能，把加熱爐溫度，真空度，進氣流量等參數(shù)進行存儲生成工藝流程，最大可以存儲100條工藝流程，也可以調(diào)出工藝流程一鍵自動運行設(shè)備。


圖片40.png


5.具有遠(yuǎn)程監(jiān)控和控制設(shè)備的功能。

6. 軟件具有可擴展型，可針對CVD系統(tǒng)進行硬件擴展，擴展范圍包括我公司所有類型CVD硬件設(shè)備


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產(chǎn)品尺寸

· 外形尺寸：2100*750*1220mm（長*寬*高 ）  

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重量

約210kg
保質(zhì)期

1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件）

使用注意事項


· 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa；

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，

建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；

· 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓

力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好

相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負(fù)責(zé)。

· 設(shè)備需在獨立供電網(wǎng)下工作，電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi)，不可與中頻高頻等高磁場發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng)，遠(yuǎn)離中頻

設(shè)備，防止空間電磁輻射。

·如果同一供電回路存在中、高頻設(shè)備，或者大型感性負(fù)載，應(yīng)在供電回路加入適當(dāng)?shù)碾娍构駷V波，配置電容柜自動補償，

諧波檢測和治理，對設(shè)備進行電磁隔離處理，否則可能導(dǎo)致加熱爐工作不穩(wěn)定甚至損壞！此類問題導(dǎo)致加熱爐故障或損壞不

屬于保修范圍。

·設(shè)備請遠(yuǎn)離存在液體飛濺場所

·設(shè)備請遠(yuǎn)離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末

·保溫和加熱元件為損耗件，保溫材料在燒結(jié)過程中出現(xiàn)裂紋為正?，F(xiàn)象，可使用修補劑修補，加熱元件為損耗件，在電爐長

時間使用后無法達(dá)到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進行更換，

·該設(shè)備高精度溫控范圍為300-1000℃，低溫運行會存在溫度振蕩，

·不建議500℃以上開啟爐膛


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