| 設備名稱 | 900℃帶多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)RTP管式爐—RTP-1000-LCD （2019.12.24—科晶實驗室審核） |
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| 產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> 3、配件妥善保管提示 |
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| 主要特點 | · 快速升溫，最高達50℃/s。 · 配有多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)，在操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。 · 超大管徑φ110mm。 · 最高溫度可達900℃。 · 法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作。 · 開門斷電。 |
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| 基本參數(shù) | · 工作溫度：最高900℃(<10min)；800℃(<30min)；600℃(長期) · 最快升溫速率：室溫~800℃： 50 ℃/s，800℃~900℃： 10℃/s · 法蘭：KF-25D型不銹鋼高真空法蘭 · 加熱區(qū)長度：190mm · 加熱元件：8根紅外燈管(每根1.5KW) · 最大功率：12KW(>60A 保險) · 設備電源：AC220V/50HZ 單相 · 循環(huán)水流量:0.5 m3/h · 標配流量計量程范圍：16-160 ml/min · 多通道質(zhì)子流量計系統(tǒng)參數(shù) · 輸入電壓：AC 220V/50Hz單相 · 功率：23W
更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 |
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| 多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng) | · 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。 · 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。 · 采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準確，方便操作。 · 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。 |
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| 真空法蘭 | · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝，法蘭上有1/4英寸直徑的通孔，用于插入K型熱電偶。 · 熱電偶：K型，熱電偶的頭部從下方接觸氮化鋁樣品架。 |
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| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 · 儀表控溫精度: +/- 1°C · 熱電偶型號：K型 |
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| 開門斷電 | · 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計
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| 質(zhì)保 | · 一年保修，終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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科晶實驗室對OTF-1200X-4-RTP設備的追溫溫差和恒溫精度做了一系列實驗研究，得出以下經(jīng)驗以供參考：
1）升溫速率越慢，控溫精度越高，升溫速率越快，追溫溫差越大。
升溫速率 | 追溫溫差 | 控溫精度（恒溫精度） |
1℃/s | < 5℃ | +-0.5℃ |
2℃/s | < 10℃ | +-1℃ |
50℃/s | 溫差較大，但30s內(nèi)恒溫 | +-1℃ |
2）570℃以下降溫不可控。
降溫速率 | 可控溫度情況（參考） |
40℃/min | 570℃以上，可控制降溫 |
60℃/min | 600℃以上，可控制降溫且誤差<5℃，600℃-570℃，誤差<10℃ |
實驗名稱：RTP快速升溫爐的升溫速度與最終溫度間的可調(diào)關系
實驗目的：1、升溫速度能否保持恒定；
2、恒溫波動是否小于1℃；
3、實現(xiàn)目的：保持一定的升溫速度，待到達恒溫溫度時，升溫速度減緩的溫度點越接近恒溫溫度越好。
適用領域：鐵磁性材料的制備
實驗結(jié)果：
100℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；沖溫＜1℃；升速減緩點在398℃ |
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100℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫＜1℃；升速減緩點在698℃ |
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400℃/min，到400℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點在395℃ |
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400℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點在395℃ |
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300℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤1℃；升速減緩點在795℃ |
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600℃/min，到700℃ | 斜率基本恒定；沖溫≤2℃；升速減緩點在790℃ |
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以上數(shù)據(jù)總結(jié)，存在調(diào)試差異，具體詳情請聯(lián)系合肥科晶實驗室 | ||
應用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 · 該設備的長時間使用溫度為600℃。 · 降溫時請利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設備溫度未降到室溫前不要直接關掉設備電源，防止出現(xiàn)安全問題。 · 此爐可以增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE(快速熱蒸發(fā)）爐（可查看下方的圖片自己制備RTE） · 在進行化學氣相沉積后，石墨烯可從金屬催化劑轉(zhuǎn)移到另一個基片襯底上，此法可被廣泛應用制備二維材料。通過CVD法生長的石墨烯，表面平整度高且無殘渣。 · 嚴禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時，應關閉閥門。 · 第一次使用，或長時間不用再次使用時，請分別點擊二個“通道清洗”（清洗通道），將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進行吹洗。 · 流量計通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應無水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應在定貨時聲明。 · 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設備損壞公司售后維修會收取相應的費用。 · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等） · 氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時，操作者應站在閥口的側(cè)后方，動作要輕緩。 · 氣瓶應放置在陰涼通風處，避免陽光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴禁將氣瓶和高溫設備放在一起。 · 嚴禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。 · 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。 |
注意事項 | · 當爐體溫度高于200℃時，請一定連接并運行水冷機，防止對設備造成損壞。 · 當爐體溫度高于900℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 · 不要放在不平或有震動的產(chǎn)所，否則容易引發(fā)設備不穩(wěn)而傾倒的危險。 · 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進設備內(nèi)部，否則有使設備發(fā)生短路或火災的危險。 · 不要放在容易濺上水的場所，水等進入產(chǎn)品本體的話，可能引起火災、觸電事故。 · 設備的控制電路部分要進行定期檢查（半年檢查一次），對線路進行緊固，若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時應及時處理，否則會導致設備短路或發(fā)生火災的危險。 · 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件，嚴禁將線頭或金屬物遺留在設備內(nèi)，否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災的危險。 |
可選配件 | · 紅外燈管為可更換的(圖1)，如有需要請聯(lián)系我們的銷售人員。 · 樣品架可選：3"O.D的石墨襯底替代AlN陶瓷片。(圖2) · 可選：將含坩堝蓋蓋規(guī)格為87 O.D×71 I.D×12 H mm的石墨坩堝設計三個坩堝架，則可被改造成一個RTE，CSS或HPCVD爐，另外石墨坩堝表面涂有SiC涂層。(圖3) · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖4) · 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。（請點擊這里學習如何安裝減壓閥）(圖5) · 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖6) · 可與氣液混合罐配合使用。(圖7) · 可與精密液體氣相發(fā)生器配合使用。(圖8)
圖5 圖6 圖7 圖8 |
PC控制(選配） | · 請在購買爐子前，準備一臺電腦。 · 可選購MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設定壓力和溫度程序，以達到遠程控制。 · 購買帶有PC控制的加熱爐，如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。
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水冷機(選配） | · 可選購水冷機降低法蘭總成溫度，避免高溫密封硅膠圈融化。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動擋板閥。
· 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標配數(shù)量外可進行額外訂購。
· 機械真空計（作為設備標配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復性及較短的響應時間外，該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導致的腔室爆炸風險。
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真空泵組(選配） | 此設備也可以進行抽真空，配合本公司生產(chǎn)的真空泵組
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