| 名稱 | 1200℃小型分體式真空管式爐（130mm管徑）--OTF-1200X-5S |
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| 產(chǎn)品提示 | |||||||
| 主要特點 | ·5英寸的石英管和鉸鏈法蘭，寬大的腔體可作為箱式氣氛爐用（避免了箱式爐爐膛污染問題） ·可用于四英寸基片退火 ·可以作為模塊，DIY ALD CVD PVD 蒸發(fā)爐 回轉(zhuǎn)爐等（具體請致電） ·采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率 ·采用ABB電器元件 注：鉸鏈法蘭選配
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| 相關(guān)視頻 |
操作視頻 拆裝熱電偶 |
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| 基本參數(shù) | ·工作溫度：1100℃（＜0.5小時） ·連續(xù)工作溫度：1000℃ ·建議加熱速率：≦10℃/min ·加熱區(qū)長度：300mm ·加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 ·電壓：AC 220V 50Hz ·功率：3KW ·熱電偶：K型 更多參數(shù)請聯(lián)系我們 |
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| 爐體結(jié)構(gòu) | ·配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封 ·石英管尺寸：Φ130×750mm ·配有2個氧化鋁管堵，使用設(shè)備時應(yīng)放在爐管兩端，保證恒溫區(qū)和法蘭密封性 ·右端法蘭為KF25接口，用于連接真空泵 ·真空度：10-2torr (采用機械泵) ·安裝有一機械壓力表，測量范圍為-0.1～0.15MP ·采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置50段升降溫程序 ·帶有超溫和斷偶保護 |
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| 溫控系統(tǒng) | ·包含一款YD858P型溫度控制器； ·PID自動控溫系統(tǒng)； ·智能化50段可編程控制； ·內(nèi)置過熱保護和熱電偶故障報警； ·控溫精度：±1℃； ·默認DB9 PC通信連接端口； ·通過MET認證； ·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)；
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| 真空系統(tǒng)（選配） | ·采用雙旋片式機械泵真空度可以達到10-2toor ·如果想要獲得更高的真空度（10-5toor or better）可選購國產(chǎn)或進口高真空機組 |
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| 外形尺寸 | ·爐蓋關(guān)閉尺寸：440mm（長）×440mm（寬）×460mm（高） ·帶法蘭支撐（每個260mm），總長：960mm（長）×440mm（寬）×460mm（高） ·爐蓋打開尺寸：440mm（長）×440mm（寬）×700mm（高） ·帶法蘭支撐（每個260mm），總長：960mm（長）×650mm（寬）×700mm（高） ·溫度控制器單位：260mm（長）×350mm（寬）×410mm（高） 重量：約48KG
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| 認證 | ·此產(chǎn)品已通過CE認證 證書編號： M.2021.206.C67997 ·若客戶出認證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證
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| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終生維護 · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、石英管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
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| 產(chǎn)品在線展示 |
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科晶實驗室用此設(shè)備做出的部分結(jié)果，以供您參考。
以下數(shù)據(jù)僅針對合肥科晶設(shè)備，不具有普遍性。如果您想了解詳細實驗方法，請聯(lián)系科晶實驗室索取詳細實驗報告。同時歡迎您帶著材料重復(fù)下列參數(shù)。
硅鋼退火 | Nb2O5粉（未處理前） Nb2O5粉（處理后） |
熱處理硅片 | |
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相關(guān)可選 |
可選購5英寸的水冷鉸鏈法蘭，并帶有支撐架 備注：鉸鏈法蘭 |
可選購數(shù)顯防腐真空計 |  您可能需要在真空端部安裝一個手動擋板閥 |
可選購歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃。 |   可選購石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空 | ||
可選購MTS02-B控溫模塊，可用電腦設(shè)置和顯示溫度程序 |
可選購鎧裝K型熱電偶，通過法蘭的鎧裝孔伸入到爐管內(nèi)部，測量樣品的實際溫度 | ||
您可以訂購帶真空泵和溫度校準(zhǔn)套件的爐子 | |||
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