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三溫區(qū)頂部籽晶助溶劑法（TSSG）單晶生長爐
關(guān)鍵字：
最高溫度1200℃
型號(hào)：
VTF-1200X-III-TSSG
產(chǎn)品概述：
VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區(qū)頂部籽晶助熔劑法（TSSG）晶體生長爐。此設(shè)備主要由3部分組成：3溫區(qū)加熱爐（爐膛尺寸為：Φ127mm×600mm,最高溫度為1200℃），溫控系統(tǒng)可設(shè)置28段溫度程序段，控溫精度±1℃和精密旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)，其提拉速度為0.8-50mm/hour.
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爐體

3溫區(qū)加熱： 150mm+300mm+150mm，三個(gè)溫區(qū)由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制，可創(chuàng)造出較大的溫度梯度

最高工作溫度： 1200℃（小于1小時(shí)）

連續(xù)工作溫度:  1100oC

功率:  208V- 240V AC, 50/60Hz, 單相

最大功率： 5KW
控制面板

· PLC觸摸屏控制面板，可設(shè)置和控制提拉行程，提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度等

· 溫控系統(tǒng)：可設(shè)置28段溫度段，采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，其控溫精度為±0.1℃

· 升溫速率： 0~10oC / min

· 提拉速度: 0.8-50mm/h （可調(diào)）

· 下降速度: 40 mm/minute

· 籽晶桿轉(zhuǎn)速: 0.1-23 RPM（可調(diào)）
最大提拉行程

300mm
加熱腔體

· 腔體直徑為Φ135mm(設(shè)計(jì)為開啟式），最大可直徑為Φ80mm的坩堝

· 加熱區(qū)長度600mm

可選購真空密封件：直徑為Φ127mm的石英管和密封法蘭

 VTF-1200X-III-TSSG 5.png   VTF-1200X-III-TSSG 6.png
設(shè)備尺寸

     標(biāo)注尺寸.jpg
質(zhì)保

一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包含爐管，密封圈和加熱元件等耗材）
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