產(chǎn)品特點 | ? 包含卷對卷線材收放卷運動模塊、1200℃雙溫區(qū)可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強模塊、真空系統(tǒng)以及四路質(zhì)子流量計供氣系統(tǒng)五部分
? 整套體系可在真空/氣氛保護環(huán)境下工作
? 運動模塊采用全進口控制組件,保證線材在管式爐中以穩(wěn)定速度和張力進行走樣,速度范圍:1-400mm/min
? 線/帶材速度及張力可調(diào),張力范圍:0.0611~0.611N |
1200℃開啟式雙溫區(qū)管式爐 | ? 工作電源:AC220V,50/60Hz
? 功率:3KW
? 加熱元件:電阻絲
? 最高溫度:1200℃ (使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發(fā)生形變)
? 長期使用溫度:1100℃
? 推薦升溫速率:≤ 20℃ /min
? 爐管:高純石英管:φ60*1400mm
? 總加熱區(qū)長度:400mm ? 恒溫區(qū)長度:200mm
? PID控溫,具有超溫及斷偶保護
? 控溫精度:±1℃
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線材收放卷運動模塊 | ? 放樣筒徑:OD140mm*ID65mm(可放樣最大厚度:35mm)
? 筒寬:120mm
? 可調(diào)速范圍:1-400mm/min
? 可放樣直徑:10μm~2mm
? 張力調(diào)節(jié)范圍:0.0611~0.611N
? 放樣筒采用氣動夾爪連接方式,方便拆卸安裝 |
500W等離子源 | ? 配備500W功率可調(diào)等離子源,用于等離子增強反應(yīng)活化,促進反應(yīng)進行 ? 輸出功率:50-500W最大可調(diào)±1%
? RF頻率: 13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005%
? 噪聲:≤55DB
? 冷卻:風(fēng)冷
? 輸入功率:1KW AC 220V |
四路質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)(標配) | ? 電壓:AC220V/50Hz
? 功率:23W
? PLC觸摸屏控制
? 混氣罐尺寸:φ80*120mm
? 工作溫度:5~45 oC
? 最大壓力: 3x106 Pa
? 精度: ±1.5% FS
? 線性: ±(0.5-1.5)%F.S.
? 重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
? 流量范圍: 一路: 1~99 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1-499SCCM 氣體種類標定根據(jù)客戶要求可以進行其它選擇 |
真空測量單元 | ? 型號:PGC-554-LD
? 顯示范圍:3.8E-5 to 1125 Torr
? 精度: 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 100 … 950 mbar % of reading ±5 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5 |
低真空機組(標配) | ? 由雙旋機械泵、雙層立式油霧過濾器(PE材質(zhì))、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
? 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
? 極限真空度10-1Pa
? 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa |
產(chǎn)品尺寸 | ? 2800mmL*1500mmW*1200mmH |
質(zhì)保期 | ? 一年保證期,終生維護
? 注:相關(guān)耗材除外,如加熱元件,密封圈等易耗件 |
質(zhì)量認證 | |
使用注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
· 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)
· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
· 石英管的長時間使用溫度<1100℃
· 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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