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射頻等離子清洗機(jī) (配真空刻蝕,215*208*355mm, 13.56Mhz,80W)
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較大型、石英腔體
型號(hào):
PCE-80
產(chǎn)品概述:
PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī),等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等)。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
主要參數(shù)

·最大射頻功率: 100 W

·真空泵功率: < 500W

·總功率: < 600W

·電源:AC 220V , 50Hz

射頻電源

·射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)

·頻率: 13.56 MHz

·可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級(jí)為300W或500W的射頻電源,來(lái)進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn)

等離子腔體

·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體

·鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封

·法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口

·此設(shè)備完全屏蔽射頻輻射,零射頻泄漏

控制面板

·通過(guò)6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開(kāi)啟、清洗時(shí)間和氣體流量等.

·儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計(jì),可精確地控制進(jìn)氣流量


 圖片1.jpg

真空泵(選配)

·儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

·極限真空度為50mTorr

通入氣體

·等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)

·不能使用易燃?xì)怏w及腐蝕性氣體。

可選

·可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片

·可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)


圖片2.jpg

外形尺寸

·620 L ×600 W ×600 H, mm

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


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相關(guān)應(yīng)用

·請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試最佳的等離子功率

·對(duì)于等離子清洗,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在10 - 30W之間

·對(duì)于等離子刻蝕,根據(jù)工藝,通常保持射頻功率在35 - 80W之間

·可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源

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